碳化钇（Yttrium Carbide，CAS号：12071-35-1）的应用主要包括以下领域：

半导体材料

碳化钇薄膜通过等离子体增强原子层沉积（PEALD）工艺制备，在900°C下对铜（Cu）和钌（Ru）表现出良好的扩散阻挡性能，适用于半导体器件的互连结构，可提升复杂结构涂层的均匀性。

工业陶瓷与光学

作为光学玻璃和陶瓷的原料，其化合物具有优异的光学性能，用于制造激光器、光纤通信部件等光学元件。